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X轴测量范围：100mm
Z1轴测量范围：50mm
本体尺寸：651x143x138.5mm
X轴测量范围：100-200mm
Z1轴测量范围：800,80,8µm
X1轴测量范围：200mm
X1分辨率：0.005mm
X1示值误差20°C：（±0.3+0.002L）µm
Z1轴测量范围：60（±30水平方向）mm
Z2轴行程范围：500mm
Z2轴移动范围：300-700mm
Z1轴测量范围：60（水平±30）mm
直线度：0.8µm / 100mm-2µm / 100mm
直线度：0.8µm / 100mm-2µm / 200mm
本体尺寸：745x450x885mm
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